제품소개
SEJONG MATERIALS
타겟(Target)
세종소재는아래 표와 같이 다양한 종류의 타겟을 고객이 원하는 사양으로 제조 공급합니다.
반도체용, 일반용 타겟(Target)
Item | Composition | Purity | Size |
---|---|---|---|
Al | Al / AlN / Al2O3/AlCr / AlCu / AlSi | 2N5~5N | Customized |
Ti | Ti / TiOx / TiAl | 3N~4N | |
Zr | Zr / ZrO2 | 2N~4N | |
Si | Si | 5N | |
Cu | Cu | 3N5 | |
Ag | Ag | 4N | |
W | WOx | 3N | |
AZO | Al2O3- ZnO2 | 4N | |
ATO | SnO2-Sb2O3 | 3N~4N | |
ITO | Sn10wt% | 4N | |
NiCr | Ni80wt-Cr20wt | 3N8 |